Universidade de São PauloArakaki, Haroldo2016-09-212016-09-212010-02-23http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/54/54132/tde-06102008-114423/http://repositorio.ifsc.usp.br/handle/RIIFSC/7060Neste trabalho é apresentado o desenvolvimento de instrumentação eletrônica para controle e automação de um sistema de crescimento de semicondutores por Epitaxia por Feixes Moleculares. Envolve uma variedade de circuitos analógicos e digitais como: um módulo de aquisição de dados e controle baseado em uma UCP Z-80, contendo algumas interfaces digitais e analógicas multiplexadas, e comunicando-se com um microcomputador através de uma interface serial. Envolve ainda o desenvolvimento de controladores de temperatura analógicos tipo P.I.D., atuação por motores de passo e circuitos de condicionamento de sinal.In this work is presented the development of electronic instrumentation for automation and control of a Molecular Beam Epitaxy semiconductor growth system. A variety of analog and digital instrumentation circuits have been designed and implemented, including a data acquisition and control system based on a Z-80 CPU, which controls some multiplexed digital and analog interfaces and talks to a microcomputer using serial communication. Other circuits have been also developed, including analog temperature controllers, stepper motor actuators and circuits for signal conditioning.application/pdfZ80Motor de passoInterface para PCEpitaxia por feixes molecularesConversor DAAquisição de dadosConversor ADControle de temperaturaZ80Temperature controlStep motorPC interfaceData acquisitionMolecular beam epitaxyDigital to analog conversionAnalog to digital conversionInstrumentação eletrônica de apoio para um sistema de epitaxia por feixes molecularesElectronic hardware development for molecular beam epitaxy.Dissertação de MestradoArakaki, Haroldo10.11606/D.54.1994.tde-06102008-114423