Universidade de São PauloArakaki, Haroldo2016-09-212016-09-212010-02-23http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/54/54132/tde-06102008-114423/http://repositorio.ifsc.usp.br/handle/RIIFSC/7060Neste trabalho é apresentado o desenvolvimento de instrumentação eletrônica para controle e automação de um sistema de crescimento de semicondutores por Epitaxia por Feixes Moleculares. Envolve uma variedade de circuitos analógicos e digitais como: um módulo de aquisição de dados e controle baseado em uma UCP Z-80, contendo algumas interfaces digitais e analógicas multiplexadas, e comunicando-se com um microcomputador através de uma interface serial. Envolve ainda o desenvolvimento de controladores de temperatura analógicos tipo P.I.D., atuação por motores de passo e circuitos de condicionamento de sinal.In this work is presented the development of electronic instrumentation for automation and control of a Molecular Beam Epitaxy semiconductor growth system. A variety of analog and digital instrumentation circuits have been designed and implemented, including a data acquisition and control system based on a Z-80 CPU, which controls some multiplexed digital and analog interfaces and talks to a microcomputer using serial communication. Other circuits have been also developed, including analog temperature controllers, stepper motor actuators and circuits for signal conditioning.application/pdfZ80Motor de passoInterface para PCEpitaxia por feixes molecularesConversor DAAquisição de dadosConversor ADControle de temperaturaZ80Temperature controlStep motorPC interfaceData acquisitionMolecular beam epitaxyDigital to analog conversionAnalog to digital conversionDissertação de MestradoArakaki, Haroldo10.11606/D.54.1994.tde-06102008-114423