Construção e análise de um elipsômetro de compensador girante.

Página do item simplificado
dc.contributorUniversidade de São Paulo
dc.contributor.authorSilva, Adao Antonio da
dc.date.accessioned2016-09-21T18:08:18Z
dc.date.available2016-09-21T18:08:18Z
dc.date.issued2009-09-03
dc.description.abstractNeste trabalho, descreveremos a teoria, a construção e algumas aplicações de um elipsômetro fotométrico de compensador girante e analisador fixo (RCFAE). Além disso, foram feitas medidas dos estados de polarização de um feixe de luz, bem como a medida da constante dielétrica complexa, &#958 = &#9581 - &#9582, de um substrato de ouro, a fim de verificar o desempenho d instrumento. Também foi feita uma análise comparativa da sensibilidade (ou poder de resolução) do elipsômetro construído com a do elipsômetro de analisador girante. Além disso, mostraremos como os resultados das medidas, são independentes da intensidade da luz incidente.
dc.description.abstractIn this work we describe the theory, construction and most important applications of a photometric elipsometer with routing compensator and fixed analyzer. We also analyze the procedures for measuring the polarization states of a light beam and the complex dielectric constant of a substrate of gold, in order to verify the performance of instrument. A comparative analysis of the sensibility (or resolution power) of the elipsometer built with an elipsometer of routing was also made. We show that the results of the measurements are independent of the intensity of the incident light.
dc.formatapplication/pdf
dc.identifier.doi10.11606/D.54.1985.tde-31082009-101352
dc.identifier.urihttp://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/54/54132/tde-31082009-101352/
dc.identifier.urihttp://repositorio.ifsc.usp.br/handle/RIIFSC/7029
dc.languagept
dc.rights.holderSilva, Adao Antonio da
dc.subjectCompensador
dc.subjectElipsômetria
dc.subjectElipsômetro
dc.subjectFilmes finos
dc.subjectTécnica elipsométrica
dc.subjectCompensator
dc.subjectElipsometer
dc.subjectElipsometric technique
dc.subjectThin films
dc.titleConstrução e análise de um elipsômetro de compensador girante.
dc.title.alternativeConstruction and analysis of a photometric elipsometer with rotating compensator.
dc.typeDissertação de Mestrado
usp.advisorCarvalho, Rene Ayres
usp.date.defense1985-09-23
Arquivos
Coleções
Teses e Dissertações (BDTD USP - IFQSC)